PENGARUH VARIASI WAKTU ANNEALING TERHADAP PERSEN MASSA Ag MELALUI UJI SPEKTROSKOPI EDX

Abstrak

Uji spektroskopi EDX merupakan pengujian yang bertujuan untuk mengetahui komposisi unsur yang terkandung dalam material uji. Oleh karena itu, dalam pembuatan katalis yang memerlukan logam tertentu pada permukaan merupakan karakterisasi wajib untuk dilakukan. Kaca preparat (SiO₂) sebagai substrate serta logam Silver (Ag) sebagai source dideposisi menggunakan metode vacumm thermal evaporation. Sampel tersebut (SiO₂/Ag) selanjutnya di annealing pada temperatur 400^oC  dengan variasi waktu annealing (15, 30 dan 45 menit). Proses anneling menyebabkan terjadinya pergeseran massa atom pada permukaan, sehingga terjadi perbedaan massa Ag dalam proses ini. Namun, disisi lain anneling bertujuan untuk memperbaiki stuktur permukaan. Dari ketiga waktu annealing, dihasilkan waktu terbaik dengan komposisi massa Ag terbanyak terjadi pada waktu 30 menit. Waktu ini diperkirakan terjadi pada tahap rekristalisasi material Ag.